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      2007

      成长潜力奖

      张江高科技园区

      2008

      工博会创新奖-12英寸65纳米单片晶圆清洗设备

      中国国际工业博览会组委会

      2009

      发明专利证书

      专利号:ZL 2009 1 0050834.2

      2010

      中国半导体创新产品和技术

      中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

      年度优秀创业者

      2011

      优秀参展产品奖-无应力抛铜

      中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

      优秀创业企业

      突出贡献企业

      上海市张江高新技术产业开发区管理委员会、上海市人力资源和社会保障局、上海市公务员局

      2012

      优秀参展金奖

      中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

      2013

      创业大赛优胜企业

      创业大赛组委会、上海市科技创业中心、上海市大学生科技创业基金会

      科学技术奖二等奖-单片晶圆清洗设备研发与应用

      上海市浦东新区人民政府

      工博会铜奖-兆声波单片清洗设备

      中国国际工业博览会组委会

      国家高新区百新企业

      中国高新技术产业导报、中国高新技术产业开发区协会、中国高新区研究中心

      2014

      发明专利证书

      专利号:ZL 2014 8 0079603.3

      2015

      发明专利证书

      专利号:ZL 2015 8 0080188.8

      2016

      新制程快速量产

      中芯

      2015年中国半导体设备十强单位

      中国电子专用设备工业协会

      感谢牌

      海力士

      2017

      科学技术奖三等奖-单片晶圆涂胶设备研发与应用

      上海市浦东新区人民政府

      上海市专利工作试点企业

      上海市知识产权局

      微信年度企业

      2016年中国半导体设备行业十强

      中国电子专用设备工业协会

      2018

      2017年中国半导体设备十强单位

      中国电子专用设备工业协会

      中国半导体创新产品和技术奖-先进封装电镀设备

      中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

      中国半导体创新产品和技术奖-TEBO

      中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

      创新奖-兆声波单片清洗机

      集成电路产业技术创新战略联盟

      2019

      2018年度优秀供应商

      华力

      2018年中国半导体设备五强企业

      中国半导体行业协会

      最佳成果奖

      SK海力士

      2019年卓越影响力上市企业

      张江科投企业年度研讨会

      杰出企业

      久友基金

      华虹集团2019年供应商大会感谢牌

      华虹集团

      科技创新奖

      中国国际工业博览会组委会

      2018年中国半导体设备十强单位

      中国电子专用设备工业协会

      2018年度上海市集成电路设备业销售前十名

      上海市集成电路行业协会

      2020

      2019年度最具潜力供应商

      华力半导体

      开放创新合作奖

      华虹集团

      中国半导体创新产品和技术奖-Tahoe

      中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

      上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室

      上海市科学技术委员会

      2019年度中国半导体设备五强企业

      中国半导体行业协会

      2019年度上海集成电路行业设备业前十名

      上海市集成电路行业协会

      上海市科学技术奖一等奖

      上海市人民政府

      优秀创新奖

      SMIC、SMNC国产设备评审委员会

      感谢牌

      海力士无锡CNC技术全体成员

      2021

      上海职工劳动和技能竞赛二等奖

      上海市总工会

      2020-2021年度上海设计100+入围作品

      上海设计100+组委会

      上海市集成电路设备业销售前十名

      行业杰出贡献奖

      高新技术企业证书

      上海市科学技术委员会、上海市财政局、国家税务总局上海市税务局

      2022

      上海市集成电路外资企业半导体设备业销售前五名

      上海市集成电路行业协会

      成果产业化奖

      第五届“IC创新奖”

      2023

      上海市企业技术中心

      上海市经济和信息化委员会、国家税务总局上海市税务局、上海市财政局、上海海关

      进门财经

      2022年最佳组织覆盖IR团队

      2022年度公益慈善奖

      中共浦东新区川沙镇委员会、浦东新区川沙新镇人民政府

      TBB上海制造业品牌价值榜/SFEO上海企业品牌成长榜

      上海市工业经济联合会、上海市经济团体联合会、上海市商业联合会

      2022年度上海市集成电路内资半导体设备业销售前五名

      上海市集成电路行业协会

      专精特新“小巨人”企业

      工业和信息化部

      临港集团园区领军之星

      临港集团

      2023电子信息年度十大创新技术(SAPS)

      中国电子商会、数字经济观察网

      2024

      2023年度企业社会公益奖

      上海浦东川沙经济园区有限公司

      2023年度浦东新区经济突出贡献奖

      上海市浦东新区人民政府

      2023年度上海市集成电路设备业(内资)销售前五名

      上海市集成电路行业协会